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超高画素(3600万画素)での微小欠陥検出


超高画素一眼レフカメラを使い、300mm程度の広い視野を一度に撮影して微小な欠陥(0.2mm程度)を検出しています。FXCaptureを使用しています。マスター画像との比較ではなく、欠陥そのものが持つ画像的な特徴を捉えて検出する方式のため、別のパターンでも(またはパターンが変形しても)欠陥を検出することができます。

全体視野です。画面全体にパターンが印刷されています。

OKの状態。欠陥がありません。

左下付近に微小なパターンの欠けがあります。

中央付近に微小なパターンの欠けがあります。

右上付近に微小なパターンの欠けがあります。